磁控溅射技术的材料性能 磁控溅射所用的靶材用哪些类型,形状,溅射对靶材有哪些性能要求

作者&投稿:萧俭 (若有异议请与网页底部的电邮联系)

如果靶材是磁性材料,磁力线被靶材屏蔽,磁力线难以穿透靶材在靶材表面上方形成磁场,磁控的作用将大大降低。因此,溅射磁性材料时,一方面要求磁控靶的磁场要强一些,另一方面靶材也要制备的薄一些,以便磁力线能穿过靶材,在靶面上方产生磁控作用。
磁控溅射设备一般根据所采用的电源的不同又可分为直流溅射和射频溅射两种。直流磁控溅射的特点是在阳极基片和阴极靶之间加一个直流电压,阳离子在电场的作用下轰击靶材,它的溅射速率一般都比较大。但是直流溅射一般只能用于金属靶材,因为如果是绝缘体靶材,则由于阳粒子在靶表面积累,造成所谓的“靶中毒”,溅射率越来越低。





磁控溅射镀膜具有哪些特性~

沉积速率是指从靶材上溅射出来的材料,在单位时间内沉积到基片上的膜层厚度,该速率与溅射率成正比。有下列关系式:qt=CIh式中:qt—表示沉积速率;C—表征溅射装置特性的常数;I—表示离子流;h—表示溅射速率。由此式可见,当溅射装置一定(即C为确定值,这个是溅射设备的固定参数,在设计之初,一般由靶基距等关键参数决定),又选定了工作气体后,提高沉积速率的最好法是提高离子流I。磁控溅射法成膜速率正比于靶功率。决定沉积速率的因素有:刻蚀区的功率密度,刻蚀区面积,靶—基距,靶材,气体压强,气体成分等。上面列出的几个参数大致上是按重要性排列的,但其中有些参数之间有相互影响,如压强、功率密度及刻蚀区面积等。此外靶的热学性能与机械特性等也是限制最大溅射速率的因素。

1.靶材短路后靶材成了负载,瞬间就会产生巨大的热量。由于纯铝的熔点很低,只有660摄氏度,不但在外力的作用下靶材变形,局部还会达到熔点,形成溶洞;2。即便靶材不短路,如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形;3.磁控溅射镀膜电源保护性功能差,超载后不能及时自动停止工作。

直流(DC)磁控溅射、中频(MF)磁控溅射、射频(RF)磁控溅射分别有什么特点...
答:磁控溅射在技术上可分为直流(DC)磁控溅射、中频(MF)磁控溅射、射频(RF)磁控溅射.1.直流(DC)磁控溅射 溅射与气压的关系 - 在一定范围内提高离化率(尽量小的压强下维持高的离化率)、提高均匀性要增加压强和保证薄膜纯度、提高薄膜附着力要减小压强的矛盾,产生一个平衡.辉光放电直流溅射系统 特点:...

蝼蚁玻璃的特殊镀膜层如何影响其性能?
答:蝼蚁玻璃与普通玻璃在多个方面存在显著差异。首先,从性能角度看,蝼蚁玻璃采用先进的真空磁控溅射技术,其表面镀有一层由多层金属或化合物构成的膜系,这赋予了它独特的功能。它不仅能够有效隔热保温,还具有出色的隔音和防紫外线性能,远超普通玻璃的单一隔断效果。在价格方面,蝼蚁玻璃由于其特殊的技术含...

汽车挡风玻璃中的可粘贴塑料膜是什么材质
答:大师汽车贴膜给您详细讲一讲汽车膜的工艺,您应该就会明白了,第四代 真空磁控溅射技术 此类膜产生于20世纪90年代末期,经历了多种技术革新,目前已臻于完美。磁控溅射工艺是将镍、银、钛、金、陶瓷材料等高级宇航合金材料采用最先进的多腔高速旋转设备,利用电场与磁场原理高速度高力量地将金属粒子均匀...

磁控溅射的分类都有哪些?
答:磁控溅射是一种制备薄膜的技术,主要用于生产具有不同特性和功能的薄膜材料,包括金属、陶瓷、半导体等。磁控溅射可分为以下几种类型:1. 直流磁控溅射(DC Magnetron Sputtering):在直流电场下,通过以靶材为阴极的方式,产生靶材表面的离子化,再将离子加速后轰击基板,形成相应的薄膜。2. 射频磁控溅...

金属膜、陶瓷膜、磁控溅射膜,傻傻分不清?一文带你快速了解!
答:后来用镍、银、钛、金等贵金属做原料,来生产更高端的金属膜。但贵金属膜无法用原先生产镀铝膜的工艺来生产,只能用"磁控溅射"技术来生产。所以磁控溅射是一种生产工艺,而金属膜是根据材料来命名。磁控溅射生产出来的金属膜,优点很多,比如具有高清晰、高隔热、低反光的特点。尤其是它是通过反射热量...

SiC陶瓷表面可以磁控溅射镀镍膜吗,附着力如何,能达到室温120MPa的剪切强...
答:金属膜是采用磁控溅射技术的。磁控溅射膜 主要利用辉光放电(glow discharge)将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。新型的溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材...

溅射PVD薄膜制备技术:溅射
答:其基本原理是如下的过程:通过带电粒子,通常是气体正离子,对靶材进行轰击,这使得靶材表面的原子在受到能量和动量转移后脱离表面,沉积到基底材料上,形成薄膜。溅射过程具有明确的方向性,这是因为溅射出的粒子不仅带有动能,还带有动量的方向性。溅射技术在实际应用中表现出广泛的用途。它能够使不同基体...

磁控溅射原理
答:磁控溅射原理如下:磁控溅射是一种常用的物理气相沉积(PVD)的方法,具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好,成分接近靶材成分等众多优点。传统的溅射技术的工作原理是:在高真空的条件下,入射离子(Ar+)在电场的作用下轰击靶材,使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面,沉积...

磁控溅射有哪些种类?不同种类的工作原理是什么?
答:4. 高功率脉冲磁控溅射:高功率脉冲磁控溅射是利用高功率脉冲电源对靶材表面进行快速加热,在极短时间内产生等离子体并进行溅射。这种技术适用于制备纳米结构材料、非晶态材料薄膜等。5. 离子束增强磁控溅射:在磁控溅射过程中,通过向沉积物表面注入高能离子束,可以提高沉积物的微观结构和物理性能。这种...

汽车贴膜金属磁控溅射和陶瓷磁控溅射和真空镀膜还有原色本体哪款好...
答:类似于镜面的高反光,容易造成光污染,有些产品为减少反光;在膜内的胶中掺有染色剂,易老化褪色。二、第四代汽车膜是“金属磁控溅射膜”。磁控溅射工艺经历了多种技术革新,可将镍、银、钛、金等高级宇航合金材料采用最先进的多腔高速旋转设备,利用电场与磁场原理高速度高力量地将金属粒子均匀溅射于...