真空磁控溅射镀膜 管靶做碳化钛黑膜 为什么产品有五彩 色不纯 真空镀膜磁控溅射用钛靶调彩色膜层，为什么第一层最后一层总是偏...

可能是中毒了，用氩气在2Pa时清洗几分钟，看辉光稳定后再重新实验。

真空磁控溅射镀膜 管靶做碳化钛黑膜 为什么产品有五彩 色不纯?~

正面还可以的话，就说明你之前的做法还算可以了。夹缝和背面有五彩也算比较正常，因为在正面能做好的同时，那些地方肯定会膜层不均匀的，所以就五彩了。就看你夹缝和背面是不是也要镀上膜层的。当然，问题就这么说，也很难说清楚的了。充气的速度和充气点的均匀性也有关系呀。

主要是控制氧气的输入量。可以改善输气设备，使输送精度更高，也可以调整标气含氧量，最终都是为氧气平均，平衡的输入。