光刻机是干什么用的，工作原理是什么？

一、用途

光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。

用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。

二、工作原理

在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片，线路图的层数越多，也需要更精密的曝光控制过程。

扩展资料

光刻机的结构：

1、测量台、曝光台：是承载硅片的工作台。

2、激光器：也就是光源，光刻机核心设备之一。

3、光束矫正器：矫正光束入射方向，让激光束尽量平行。

4、能量控制器：控制最终照射到硅片上的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量。

5、光束形状设置：设置光束为圆型、环型等不同形状，不同的光束状态有不同的光学特性。

6、遮光器：在不需要曝光的时候，阻止光束照射到硅片。

7、能量探测器：检测光束最终入射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。

8、掩模版：一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，贵的要数十万美元。

9、掩膜台：承载掩模版运动的设备，运动控制精度是nm级的。

10、物镜：物镜用来补偿光学误差，并将线路图等比例缩小。

11、硅片：用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸，尺寸越大，产率越高。题外话，由于硅片是圆的，所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系，根据缺口的形状不同分为两种，分别叫flat、 notch。

12、内部封闭框架、减振器：将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。

参考资料来源：百度百科-光刻机

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光刻机是干什么用的?
答：光刻机（Mask Aligner）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动 A手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和...

光刻机是干什么用的
答：光刻机是干什么用的光刻机是用来制造芯片的。光刻机又被称为掩膜对准曝光机，在芯片生产中用于光刻工艺，而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步，所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备。光刻机是干什么用的 光刻机决定了芯片的精密尺寸，设计师设计好芯片线路，在通过光刻机将线路刻在芯片上，...

什么是刻录机
答：刻录机是一种硬件设备，用于将数据以螺旋状的方式从内圈向外圈散开的方式刻写到光盘上。刻录机的工作原理主要是利用激光束将数据以螺旋状的方式从内圈向外圈散开的方式刻写到光盘上的螺旋状轨道上。这些数据是以微小的凹凸形式存在的，这些凹凸就是刻录的数据。当激光照射到这些凹凸上时，就会产生反射，...

光刻机是干什么用的
答：3、光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography（光刻） 意思是用光来制作一个图形（工艺...

光刻机是什么用途
答：光刻机的主要用途是生产芯片。在半导体芯片的生产过程中，光刻是一个既复杂又关键的步骤，它占据了较长的时间和较高的成本。光刻的作用是在硅片上准确地复制出电路图案，这一技术的水平直接影响着芯片的制程和性能。通常，一个芯片需要经历20到30次的光刻过程，这一步骤大约占据了整个集成电路生产时间的...

光刻机是干什么的
答：2. 根据应用领域的不同，光刻机可以分为多种类型：其中包括用于生产集成电路芯片的极紫外光（EUV）光刻机，用于封装的紫外光光刻机，以及用于LED生产的投影光刻机。3. 在中国的半导体产业中，极紫外光（EUV）光刻机是中国半导体设备制造领域亟需突破的技术短板。4. 光刻机，也被称为掩模对准光刻机...

电脑雕刻机的工作原理是什么?
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雕刻机的工作原理和作用是那些
答：一、工作原理：雕刻机 由计算机，雕刻机控制器，雕刻机主机三部分组成。工作原理：是通过计算机内配置的专用雕刻软件进行设计和排版，并由计算机把设计与排版的信息自动传送至雕刻机控制器中，再由控制器把这些信息转化成能驱动步进电机或伺服电机的带有功率的信号(脉冲串)，控制雕刻机主机生成X，Y，Z...

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